En 1810 José Gaspar Mora fue el primer Encargado de los Asuntos Exteriores. En 1814 se creó la Secretaría de Gobierno y Relaciones Exteriores. En 1824 las funciones de Relaciones Exteriores se llevaron en conjunto con las del Ministerio del Interior.
El Ministerio durante el siglo XIX estuvo preocupado de traer inmigrantes especialmente en la década de 1850 con el trabajo del Agente de colonización, Vicente Pérez Rosales.
La Cancillería sólo se constituyó como Ministerio independiente y segundo en precedencia. el día 2 de diciembre de 1871, siendo su primer Ministro de Relaciones Exteriores don Adolfo Ibañez.
A partir de 1887 las funciones de Relaciones Exteriores se llevaban en conjunto con las de culto hasta que en el año 1888, siendo Ministro Demetrio Lastarria, además se le sumaron las tareas inherentes a la colonización.
El año 1928 el Ministerio debía preocuparse también de las relaciones comerciales, nominándose Ministerio de RR.EE. y de Comercio hasta el año hasta 1942. En ese mismo año, se creó la Comisión Chileno Antártica que vela de los temas relativos al territorio antártico.